|
|
|
实践早已证明，空气净化工程在提高产品质量等方面有很明最的效果，据国外文献的报导，对于半导体 在10000级和lOO级浩净争室中制造的产品通过耐压试验见图2-1．在外气
环境和在l00级洁净室中进行晶体管涂布扩散，其性能的统计分布见图2-2，可见在100级洁净室中，产品的性能分布集中，而且峰值出现在更高性能的地方。
对于照像制版在一般环境和100000级坏境中生产的照相底板上的针孔数（约2um以上)相比较见表2 -1 对于光学机械 在一般和10 000级环境中生产的照相机的物镜的不合格指数
对于集成电路基本图形尺寸（即线距）为1um的超大规模集成电路的256K的存储在较低洁净度环境中成品率为20%。据国内有关资料 一些进行过空气净化改造的工厂和研究所，其产品合格率如表2-3 2-4所列。表2-5、表2—6则列出了某半导体器件厂在对生产车间进行空气洁净技术改造前后的产品合格率的具体比较．
一些材料可以看出，①有无空气净化，产品成品率有很大差别，②为了提高产品质量，不仅生产产品的环境需要洁净，而且其关键的原材料、配料的生产也应在洁净环境中进行．
但是，和对待任何事物不能绝对化一样，对待空气洁净技术的作用也不能绝对化，不能把提高产品质量的作用完全归之于它。据国外材料分析，例如对于半导体元件部门，空气洁净技术在提高产品质量方面的作用大约在整个生产中占的比重为20%，而生产工艺自
动化作用的比重占60%，其他因素占20%。当然，在已经解决了生产工艺的问题以后，空气净化就是主要矛盾，例如超大规模集成电路，没有洁净的环境，则几乎是生产不出来的．表2-7例出了需要空气洁净技术的部门。
从国际上发展先后来看，首先引入空气洁净技术的是精密机械部门。图2-3列出了引入这项技术的部门的大致顺序。而空气洁净技术的普及顺序则首先是电子工业，其次的部门则如图2-4所示。从空气洁净技术方面的产值分析，在电子工业方面也占第一位。图2-5是日本的统计资料。
空气洁净技术在我国的应用也有类似情况，首先起步于精密机械（陀螺仪等），但以后却在电子工业中得到最快的发展，洁净室面积跃居第一位，占70.81%；制药行业也后来居上，仅决于电子工业占12.94%，而精密机械行业的洁净室面积刚退居第三位，占10.8%。
今后应用空气浩净技术的部门将进一步增加，这些部门及其对空气洁净技术的要求概括。
|
| 返回 |
|
|
|
综合应用